安徽贝意克小型滑轨式PECVD系统

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品名：安徽贝意克小型滑轨式PECVD系统: 型号： BTF-1200C-S-SL-PECVD

产品详情
规格参数

我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。该款设备是全自动Plasma增强CVD系统（PECVD），系统可以实现连续滑动温区，连续可控制温度及Plasma强度。PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体，辉光放电等离子体中：

1、电子密度高10⁹-10¹²cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。

2、通过反应气态放电，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点，工艺流程简单

1.加热系统

**温度	1200℃
使用温度	≤1100℃
炉膛有效尺寸	Φ50mm
炉膛材料	氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型	K型热电偶
控温精度	±1℃
控温方式	30段可编程控温，PID参数自整定。
加热长度	230mm
恒温长度	100mm
加热原件	电阻丝
供电电源	单相，220V，50Hz

2、PE系统

功率输出范围	0W~150W
射频输出接口	50 Ω, N-type, female
功率稳定度	≤5W
谐波分量	≤-50dbc
供电电压	单相交流（187V-253V）频率50/60HZ
整机效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷却方式	强制风冷

3、三路质子流量控制系统

连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm （可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%F.S
线性	±1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
**压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6

4、低真空机组

空气相对湿度	≤85%
工作环境	5℃～40℃
工作电电压	220V
抽气速率	10m³/h
极限真空	5X10-1Pa（空载冷态）
工作压力范围	1.01325X105～1.33X10-2Pa
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25
连接方式	采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连